關(guān)于拓荊
發(fā)展歷程
2024
2024年12月
Flora、Bianca設(shè)備進(jìn)入量產(chǎn)線
芯片對(duì)晶圓鍵合設(shè)備出廠
芯片對(duì)晶圓鍵合設(shè)備出廠
2024年12月
全年出貨1000+個(gè)反應(yīng)腔
2024年3月
拓荊正式啟用全新的Logo設(shè)計(jì)
2023
2023年12月
客戶端累計(jì)流片量突破1.5億片
認(rèn)定為“國(guó)家企業(yè)技術(shù)中心”
首臺(tái)Thermal-ALD(TS-300Altair)設(shè)備通過客戶驗(yàn)證
認(rèn)定為“國(guó)家企業(yè)技術(shù)中心”
首臺(tái)Thermal-ALD(TS-300Altair)設(shè)備通過客戶驗(yàn)證
2023年7月
新型串聯(lián)平臺(tái)搭配5個(gè)新型反應(yīng)腔Supra-D出廠
2023年6月
上海二期研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化基地正式開工建設(shè)
首臺(tái)晶圓對(duì)晶圓混合鍵合設(shè)備通過客戶驗(yàn)證
首臺(tái)晶圓對(duì)晶圓混合鍵合設(shè)備通過客戶驗(yàn)證
2023年5月
新型反應(yīng)腔pX出廠
上海一期研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化基地正式啟用
上海一期研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化基地正式啟用
2023年3月
首臺(tái) HDPCVD設(shè)備通過客戶驗(yàn)證
2023年2月
新型平臺(tái)PF-300T Plus 出廠
2022
2022年12月
客戶端累計(jì)流片量突破9800萬(wàn)片
2022年10月
首臺(tái) PF-300T Altair Thermal-ALD 設(shè)備
2022年08月
首臺(tái)TS-300 Altair 集成工藝設(shè)備出廠
Hybrid Bonding 設(shè)備出廠
Hybrid Bonding 設(shè)備出廠
2022年04月
拓荊科技成功上市（688072.SH）
2021
2021年12月
全年設(shè)備出貨100臺(tái)
客戶端總流片量>4600萬(wàn)片
完成HDP產(chǎn)品研發(fā)并進(jìn)入客戶驗(yàn)證
客戶端總流片量>4600萬(wàn)片
完成HDP產(chǎn)品研發(fā)并進(jìn)入客戶驗(yàn)證
2020
2020年12月
UV Cure研制成功，并出貨到客戶端
客戶端總流片量超過1500萬(wàn)片
客戶端總流片量超過1500萬(wàn)片
2020年11月
整機(jī)累計(jì)出貨量超過100臺(tái)套
2020年09月
認(rèn)定為“遼寧省企業(yè)技術(shù)中心”
2019
2019年12月
獲評(píng)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)示范企業(yè)
2019年12月
完成第四輪融資
2019年10月
獲批設(shè)立“遼寧省博士創(chuàng)新實(shí)踐基地”
2019年09月
SACVD研制成功并出廠到客戶端
2018
首臺(tái)硬掩膜 ACHM 機(jī)臺(tái)出廠到客戶端
2018年12月
12英寸ALD通過客戶端工藝驗(yàn)證
2018年10月
2017
2017年12月
首臺(tái)量產(chǎn)型3D NAND PECVD 出廠到客戶端
2017年10月
PF-300T客戶端生產(chǎn)線量產(chǎn)流片突破一百萬(wàn)片
2017年8月
完成第三輪融資
2016
拓荊新廠投入使用
2016年12月
首臺(tái)12英寸ALD出廠到客戶端
2016年3月
2015
2015年9月
完成第二輪增資，獲國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金戰(zhàn)略投資
2015年3月
PF-300T在客戶端生產(chǎn)線突破一萬(wàn)片
2014
獲批組建“遼寧省薄膜設(shè)備工程研究中心”
2014年12月
客戶端首臺(tái)量產(chǎn)機(jī)臺(tái)PF-300T的設(shè)備訂單
2014年8月
完成公司首輪增資
2014年5月
2013
PF-300T通過客戶端產(chǎn)品線測(cè)試
2013年12月
首臺(tái)12寸PF-300銷售
2013年5月
2012
推出12英寸多反應(yīng)腔PF-300T設(shè)備
2012年12月
2011
首臺(tái)12英寸PECVD出廠到客戶端驗(yàn)證
2011年10月
獲批建設(shè)遼寧省半導(dǎo)體薄膜技術(shù)裝備工程技術(shù)研究中心
2011年8月
2010
沈陽(yáng)拓荊科技有限公司成立
2010年4月
