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呂光泉先生:1965年出生，博士學歷，1994年8月至1996年4月，任美國科學基金會尖端電子材料研究中心電子材料副研究員;1996年4月至2007年7月，就職于美國諾發(fā)，歷任高級工程師、PECVD工藝研發(fā)部經(jīng)理、項目主任兼工藝研發(fā)高級經(jīng)理、ALD技術(shù)高級經(jīng)理;2007年7月至2014年8月，就職于德國愛思強公司美國SSTS部，歷任ALD設備研發(fā)及工程設計高級主任、工程技術(shù)副總裁。2014年9月至今，就職于公司(及前身拓荊有限)，歷任技術(shù)總監(jiān)、總經(jīng)理、董事，現(xiàn)任公司董事長。
姜謙先生:1952年出生，博士學歷，1982年1月至1984年6月，任麻省理工學院材料科學工程中心研究員;1984年7月至2003年5月，就職于英特爾公司，歷任金屬刻蝕工藝工程師、新電介質(zhì)材料研究員、Cu結(jié)合與低k電解質(zhì)、等離子體研究項目經(jīng)理，互聯(lián)研究部門經(jīng)理、新型穩(wěn)定性存儲器研發(fā)項目經(jīng)理;2003年6月至2005年10月，任美國諾發(fā)研發(fā)副總裁;2006年4月至2010年3月，任欣欣科技(沈陽)有限公司執(zhí)行董事。2010年4月至今，就職于公司(及前身拓荊有限)，歷任總經(jīng)理、董事長，現(xiàn)任公司董事。
楊卓先生：1986年出生，經(jīng)濟學碩士，高級經(jīng)濟師。2009年加入國家開發(fā)銀行深圳市分行，歷任評審處副處長、客戶五處處長。2023年加入華芯投資管理有限責任公司，任投資三部總經(jīng)理。
楊柳先生:1979年出生，碩士學歷，2004年4月至2009年12月，就職于應用材料公司，任技術(shù)工程師;2009年12月至2010年5月，就職于大族激光，任工藝總監(jiān);2010年10月至2014年3月，就職于中廣核太陽能開發(fā)有限公司，歷任產(chǎn)業(yè)投資項目經(jīng)理兼科技委辦公室主任、投資管理高級經(jīng)理;2014年3月至2021年3月，就職于國開金融，歷任高級經(jīng)理、總經(jīng)理助理、資深副經(jīng)理;2021年4月至今，就職于華芯投資，任資深經(jīng)理。2021年12月至今，任拓荊科技股份有限公司董事。
齊雷先生:1979年1月出生，畢業(yè)于中國人民解放軍信息工程大學計算機科學與技術(shù)專業(yè)，碩士研究生學歷。2009年9月至2016年11月，歷任中國國投高新產(chǎn)業(yè)投資有限公司投資經(jīng)理、高級投資經(jīng)理;2016年12月至今，歷任國投創(chuàng)業(yè)投資管理有限公司投資總監(jiān)、執(zhí)行總經(jīng)理;2018年1月至今，任富創(chuàng)有限/富創(chuàng)精密董事。
GERALD ZHEYAO YIN(尹志堯)先生:1944年出生，曾任英特爾中心技術(shù)開發(fā)部工藝工程師，泛林半導體研發(fā)部資深工程師、研發(fā)部資深經(jīng)理，應用材料等離子體刻蝕設備產(chǎn)品總部首席技術(shù)官、總公司副總裁及等離子體刻蝕事業(yè)群總經(jīng)理、亞洲總部首席技術(shù)官。2004年至今，擔任中微半導體設備(上海)股份有限公司董事長及總經(jīng)理。2019年3月起任瀾起科技獨立董事。
吳漢明先生:1952年6月出生，微電子技術(shù)專家，2019年當選中國工程院院士，現(xiàn)任浙江大學微納電子學院院長，中國科學技術(shù)大學國家示范性微電子學院院長，浙江創(chuàng)芯集成電路有限公司董事長，睿力集成電路有限公司獨立董事，比亞迪半導體股份有限公司獨立董事，拓荊科技股份有限公司(688072.SH)獨立董事，以及北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司(002371.SZ)獨立董事。吳院士自1999年9月至2001年8月?lián)蚊绹⑻貭柟靖呒壒こ處煟?001年8月至2018年10月歷任中芯國際集成電路制造有限公司研發(fā)部技術(shù)總監(jiān)、副總裁及顧問，自2017年10月至2021年2月?lián)涡緞?chuàng)智創(chuàng)新設計服務中心(寧波)有限公司執(zhí)行董事。吳院士長期工作在中國集成電路產(chǎn)業(yè)并做出突出貢獻。吳院士發(fā)表著作論文116篇，獲授權(quán)發(fā)明專利67項。吳院士被評為首屆“北京學者”，榮獲“十佳全國優(yōu)秀科技工作者”、“全國杰出專業(yè)技術(shù)人才”等稱號。他亦曾任中國半導體技術(shù)國際會議(CSTIC)大會主席。吳院士于1987年獲中國科學院力學研究所博士學位。
黃宏彬先生:1971年10月出生，碩士學歷，1994年開始參加工作，曾任上海萬國證券公司稽核總部經(jīng)理，上海證券交易所市場監(jiān)察部副總監(jiān)、公司管理部副總監(jiān)、發(fā)行上市部副總監(jiān)，金浦產(chǎn)業(yè)投資基金管理有限公司董事總經(jīng)理，京通智匯資產(chǎn)管理有限公司總經(jīng)理，金圓國際有限公司總經(jīng)理，本公司董事?，F(xiàn)任上海斐君投資管理中心(有限合伙)創(chuàng)始合伙人，天合光能股份有限公司、拓荊科技股份有限公司獨立董事等職務。已于2022年1月13日辭去公司董事及董事會審計委員會職務，辭職后其不再擔任公司任何職務。
趙國慶先生:1979年10月出生，博士學歷，中國注冊會計師。2002年8月至2012年6月，就職于南京市江寧地方稅務局;2012年6月至2015年5月，任國家稅務總局稅務干部學院副教授;2015年5月至2019年7月，任中匯江蘇稅務師事務所有限公司合伙人;2019年7月至今，任上海易宏人力資源服務有限公司業(yè)務總監(jiān)。2020年8月至今，任公司獨立董事。
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